دورية أكاديمية

Effects of the LPCVD Gate Dielectric Deposition Temperature on GaN MOSFET Channels and the Root Causes at the SiO2-GaN-Interface

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Effects of the LPCVD Gate Dielectric Deposition Temperature on GaN MOSFET Channels and the Root Causes at the SiO2-GaN-Interface
المؤلفون: Henn, M., Huber, C., Scholten, D., Kaminski, N.
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 71(3):1553-1560 Mar, 2024
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2023.3347208