دورية أكاديمية
Epitaxial Polysilicon MEMS Temperature Sensor With 0.043 °C Resolution at 4-Hz Data Rate
| العنوان: | Epitaxial Polysilicon MEMS Temperature Sensor With 0.043 °C Resolution at 4-Hz Data Rate |
|---|---|
| المؤلفون: | Frigerio, P., Fagnani, A., Zega, V., Gattere, G., Langfelder, G. |
| المصدر: | IEEE Sensors Journal IEEE Sensors J. Sensors Journal, IEEE. 24(6):8123-8131 Mar, 2024 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 1530437X 15581748 23799153 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/JSEN.2024.3355237 |