دورية أكاديمية

Laser Processing in Silicon Microelectronics Technology

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Laser Processing in Silicon Microelectronics Technology
المؤلفون: Leamy, H.
المصدر: IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology IEEE Trans. Comp., Hybrids, Manufact. Technol. Components, Hybrids, and Manufacturing Technology, IEEE Transactions on. 5(1):112-117 Mar, 1982
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:01486411
15583082
DOI:10.1109/TCHMT.1982.1135928