Development of nonresonant ultrasonic motor with sub-nanometer resolution

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Development of nonresonant ultrasonic motor with sub-nanometer resolution
المؤلفون: Egashira, Y., Kosaka, K., Endo, T., Hashiguchi, H., Nagamoto, K., Watanabe, M., Yamakawa, T., Nakada, A., Kubota, H., Ohmi, T.
المصدر: 2002 IEEE Ultrasonics Symposium, 2002. Proceedings. Ultrasonics symposium Ultrasonics Symposium, 2002. Proceedings. 2002 IEEE. 1:637-640 vol.1 2002
Relation: Proceedings of 2002 IEEE International Ultrasonics Symposium
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:0780375823
9780780375826
تدمد:10510117
DOI:10.1109/ULTSYM.2002.1193483