دورية أكاديمية

Lateral ion implant straggle and mask proximity effect

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Lateral ion implant straggle and mask proximity effect
المؤلفون: Hook, T.B., Brown, J., Cottrell, P., Adler, E., Hoyniak, D., Johnson, J., Mann, R.
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 50(9):1946-1951 Sep, 2003
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2003.815371