دورية أكاديمية
Lateral ion implant straggle and mask proximity effect
العنوان: | Lateral ion implant straggle and mask proximity effect |
---|---|
المؤلفون: | Hook, T.B., Brown, J., Cottrell, P., Adler, E., Hoyniak, D., Johnson, J., Mann, R. |
المصدر: | IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 50(9):1946-1951 Sep, 2003 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 00189383 15579646 |
---|---|
DOI: | 10.1109/TED.2003.815371 |