دورية أكاديمية
High-performance SOI-CMOS Transistors in oxygen-implanted silicon without epitaxy
العنوان: | High-performance SOI-CMOS Transistors in oxygen-implanted silicon without epitaxy |
---|---|
المؤلفون: | Davis, J.R., Reeson, K.J., Hemment, P.L.F., Marsh, C.D. |
المصدر: | IEEE Electron Device Letters IEEE Electron Device Lett. Electron Device Letters, IEEE. 8(7):291-293 Jul, 1987 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 07413106 15580563 |
---|---|
DOI: | 10.1109/EDL.1987.26635 |