MEMS design for fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: MEMS design for fabrication
المؤلفون: Sadek, K., Moussa, W.
المصدر: 2005 International Conference on MEMS,NANO and Smart Systems MEMS, NANO and Smart Systems MEMS, NANO and Smart Systems, 2005. Proceedings. 2005 International Conference on. :110-112 2005
Relation: Proceedings. 2005 International Conference on MEMS, NANO and Smart Systems
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:0769523986
9780769523989
DOI:10.1109/ICMENS.2005.67