دورية أكاديمية

A novel capacitive pressure sensor based on sandwich structures

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: A novel capacitive pressure sensor based on sandwich structures
المؤلفون: Min-Xin Zhou, Qing-An Huang, Ming Qin, Wei Zhou
المصدر: Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 14(6):1272-1282 Dec, 2005
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:10577157
19410158
DOI:10.1109/JMEMS.2005.859100