دورية أكاديمية
A High-Performance MEMS Capacitive Strain Sensing System
العنوان: | A High-Performance MEMS Capacitive Strain Sensing System |
---|---|
المؤلفون: | Suster, M., Guo, J., Chaimanonart, N., Ko, W.H., Young, D.J. |
المصدر: | Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 15(5):1069-1077 Oct, 2006 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 10577157 19410158 |
---|---|
DOI: | 10.1109/JMEMS.2006.881489 |