دورية أكاديمية

Investigation and Localization of the SiGe Source/Drain (S/D) Strain-Induced Defects in PMOSFET With 45-nm CMOS Technology

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Investigation and Localization of the SiGe Source/Drain (S/D) Strain-Induced Defects in PMOSFET With 45-nm CMOS Technology
المؤلفون: Cheng, C. Y., Fang, Y. K., Hsieh, J. C., Hsia, H., Sheu, Y. M., Lu, W. T., Chen, W. M., Lin, S. S.
المصدر: IEEE Electron Device Letters IEEE Electron Device Lett. Electron Device Letters, IEEE. 28(5):408-411 May, 2007
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:07413106
15580563
DOI:10.1109/LED.2007.895446