دورية أكاديمية

Lithography and Other Patterning Techniques for Future Electronics

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Lithography and Other Patterning Techniques for Future Electronics
المؤلفون: Pease, R. F., Chou, S. Y.
المصدر: Proceedings of the IEEE Proc. IEEE Proceedings of the IEEE. 96(2):248-270 Feb, 2008
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189219
15582256
DOI:10.1109/JPROC.2007.911853