دورية أكاديمية
Lithography and Other Patterning Techniques for Future Electronics
العنوان: | Lithography and Other Patterning Techniques for Future Electronics |
---|---|
المؤلفون: | Pease, R. F., Chou, S. Y. |
المصدر: | Proceedings of the IEEE Proc. IEEE Proceedings of the IEEE. 96(2):248-270 Feb, 2008 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 00189219 15582256 |
---|---|
DOI: | 10.1109/JPROC.2007.911853 |