دورية أكاديمية
Influence of Nonthermal Plasma Reactor Type on $ \hbox{CF}_{4}$ and $\hbox{SF}_{6}$ Abatements
| العنوان: | Influence of Nonthermal Plasma Reactor Type on $ \hbox{CF}_{4}$ and $\hbox{SF}_{6}$ Abatements |
|---|---|
| المؤلفون: | Chen, H. L., Lee, H.-M., Cheng, L. C., Chang, M. B., Yu, S. J., Li, S.-N. |
| المصدر: | IEEE Transactions on Plasma Science IEEE Trans. Plasma Sci. Plasma Science, IEEE Transactions on. 36(2):509-515 Apr, 2008 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 00933813 19399375 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/TPS.2008.918675 |