دورية أكاديمية
Numerical studies on the nonequilibrium inductively coupled plasma with metal vapor ionization
| العنوان: | Numerical studies on the nonequilibrium inductively coupled plasma with metal vapor ionization |
|---|---|
| المؤلفون: | Suekane, T., Taya, T., Okuno, Y., Kabashima, S. |
| المصدر: | IEEE Transactions on Plasma Science IEEE Trans. Plasma Sci. Plasma Science, IEEE Transactions on. 24(3):1147-1154 Jun, 1996 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 00933813 19399375 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/27.533124 |