دورية أكاديمية
Multiplexed MPC for Multizone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing
العنوان: | Multiplexed MPC for Multizone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing |
---|---|
المؤلفون: | Ling, K. V., Ho, W. K., Wu, B. F., Lo, A., Yan, H. |
المصدر: | IEEE Transactions on Control Systems Technology IEEE Trans. Contr. Syst. Technol. Control Systems Technology, IEEE Transactions on. 18(6):1371-1380 Nov, 2010 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 10636536 15580865 23740159 |
---|---|
DOI: | 10.1109/TCST.2009.2036155 |