Multiplexed MPC for Multizone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Multiplexed MPC for Multizone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing
المؤلفون:	Ling, K. V., Ho, W. K., Wu, B. F., Lo, A., Yan, H.
المصدر:	IEEE Transactions on Control Systems Technology IEEE Trans. Contr. Syst. Technol. Control Systems Technology, IEEE Transactions on. 18(6):1371-1380 Nov, 2010
قاعدة البيانات:	IEEE Xplore Digital Library

كن أول من يترك تعليقا!