Multi-Zone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing: Bias Estimation

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Multi-Zone Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing: Bias Estimation
المؤلفون:	Yan, H., Ho, W. K., Ling, K. V., Lim, K. W.
المصدر:	IEEE Transactions on Industrial Informatics IEEE Trans. Ind. Inf. Industrial Informatics, IEEE Transactions on. 6(2):216-228 May, 2010
قاعدة البيانات:	IEEE Xplore Digital Library

الوصف
تدمد:	15513203 19410050
DOI:	10.1109/TII.2010.2040285