دورية أكاديمية

Optimum Design of Polymeric Thermal Microactuator With Embedded Silicon Skeleton

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Optimum Design of Polymeric Thermal Microactuator With Embedded Silicon Skeleton
المؤلفون: Lau, G.-K., Goosen, J. F. L., van Keulen, F.
المصدر: Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 19(4):992-1001 Aug, 2010
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:10577157
19410158
DOI:10.1109/JMEMS.2010.2051018