دورية أكاديمية
Optimum Design of Polymeric Thermal Microactuator With Embedded Silicon Skeleton
العنوان: | Optimum Design of Polymeric Thermal Microactuator With Embedded Silicon Skeleton |
---|---|
المؤلفون: | Lau, G.-K., Goosen, J. F. L., van Keulen, F. |
المصدر: | Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 19(4):992-1001 Aug, 2010 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 10577157 19410158 |
---|---|
DOI: | 10.1109/JMEMS.2010.2051018 |