دورية أكاديمية

Adaptive Mahalanobis Distance and $k$ -Nearest Neighbor Rule for Fault Detection in Semiconductor Manufacturing

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Adaptive Mahalanobis Distance and $k$ -Nearest Neighbor Rule for Fault Detection in Semiconductor Manufacturing
المؤلفون: Verdier, G., Ferreira, A.
المصدر: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing IEEE Trans. Semicond. Manufact. Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on. 24(1):59-68 Feb, 2011
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:08946507
15582345
DOI:10.1109/TSM.2010.2065531