دورية أكاديمية
HiPIMS Ion Energy Distribution Measurements in Reactive Mode
| العنوان: | HiPIMS Ion Energy Distribution Measurements in Reactive Mode |
|---|---|
| المؤلفون: | Jouan, P.-Y., Le Brizoual, L., Ganciu, M., Cardinaud, C., Tricot, S., Djouadi, M.-A. |
| المصدر: | IEEE Transactions on Plasma Science IEEE Trans. Plasma Sci. Plasma Science, IEEE Transactions on. 38(11):3089-3094 Nov, 2010 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 00933813 19399375 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/TPS.2010.2073688 |