دورية أكاديمية
AC Bipolar Pulsed Power Supply for Reactive Magnetron Sputtering
| العنوان: | AC Bipolar Pulsed Power Supply for Reactive Magnetron Sputtering |
|---|---|
| المؤلفون: | Garcia-Garcia, J., Pacheco-Sotelo, J., Valdivia-Barrientos, R., Rivera-Rodriguez, C., Pacheco-Pacheco, M., Gonzalez, J. J., Nieto-Perez, M. |
| المصدر: | IEEE Transactions on Plasma Science IEEE Trans. Plasma Sci. Plasma Science, IEEE Transactions on. 39(10):1983-1989 Oct, 2011 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 00933813 19399375 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/TPS.2011.2162592 |