دورية أكاديمية
Fin-Height Effect on Poly-Si/PVD-TiN Stacked-Gate FinFET Performance
العنوان: | Fin-Height Effect on Poly-Si/PVD-TiN Stacked-Gate FinFET Performance |
---|---|
المؤلفون: | Hayashida, T., Endo, K., Liu, Y., O'uchi, S.-I., Matsukawa, T., Mizubayashi, W., Migita, S., Morita, Y., Ota, H., Hashiguchi, H., Kosemura, D., Kamei, T., Tsukada, J., Ishikawa, Y., Yamauchi, H., Ogura, A., Masahara, M. |
المصدر: | IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 59(3):647-653 Mar, 2012 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 00189383 15579646 |
---|---|
DOI: | 10.1109/TED.2011.2181385 |