دورية أكاديمية

Micromachined semi-encapsulated spiral inductors for microelectromechanical systems (MEMS) applications

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Micromachined semi-encapsulated spiral inductors for microelectromechanical systems (MEMS) applications
المؤلفون: Sadler, D.J., Wenjin Zhang, Chong H. Ahn, Hi Jung Kim, Suk Hee Han
المصدر: IEEE Transactions on Magnetics IEEE Trans. Magn. Magnetics, IEEE Transactions on. 33(5):3319-3321 Sep, 1997
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189464
19410069
DOI:10.1109/20.617930