دورية أكاديمية
A Quality Metric for Defect Inspection Recipes
| العنوان: | A Quality Metric for Defect Inspection Recipes |
|---|---|
| المؤلفون: | Buengener, R., Lee, J. L., Trapp, B. M., Rudy, J. A. |
| المصدر: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing IEEE Trans. Semicond. Manufact. Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on. 26(1):3-10 Feb, 2013 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 08946507 15582345 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/TSM.2012.2202927 |