دورية أكاديمية

Solid state: Superfast annealing: Application of laser and electron-beam annealing portends three-dimensional ICs and economical photoelectric cells

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Solid state: Superfast annealing: Application of laser and electron-beam annealing portends three-dimensional ICs and economical photoelectric cells
المؤلفون: Brown, Walter L.
المصدر: IEEE Spectrum IEEE Spectr. Spectrum, IEEE. 18(4):50-56 Apr, 1981
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189235
19399340
DOI:10.1109/MSPEC.1981.6369479