دورية أكاديمية
Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
العنوان: | Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators |
---|---|
المؤلفون: | Li, C.-S., Li, M.-H., Chin, C.-H., Li, S.-S. |
المصدر: | Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 22(6):1361-1372 Dec, 2013 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
تدمد: | 10577157 19410158 |
---|---|
DOI: | 10.1109/JMEMS.2013.2257689 |