Formation of Ultra Thin Soi-Layer by Implantation of Nitrogen

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Formation of Ultra Thin Soi-Layer by Implantation of Nitrogen
المؤلفون: Schork, R., Ryssel, H.
المصدر: 1992 IEEE International SOI Conference SOI conference SOI Conference, 1992. IEEE International. :16-17 1992
Relation: IEEE International SOI Conference
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:0780307763
9780780307766
0780374398
9780780374393
تدمد:1078621X
DOI:10.1109/SOI.1992.664774