دورية أكاديمية

Nanoscale Magnification and Shape Control System for Precision Overlay in Jet and Flash Imprint Lithography

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Nanoscale Magnification and Shape Control System for Precision Overlay in Jet and Flash Imprint Lithography
المؤلفون: Cherala, A., Schumaker, P., Mokaberi, B., Selinidis, K., Choi, B. J., Meissl, M. J., Khusnatdinov, N. N., LaBrake, D., Sreenivasan, S. V.
المصدر: IEEE/ASME Transactions on Mechatronics IEEE/ASME Trans. Mechatron. Mechatronics, IEEE/ASME Transactions on. 20(1):122-132 Feb, 2015
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:10834435
1941014X
DOI:10.1109/TMECH.2013.2297679