دورية أكاديمية
High resolution, steep profile, resist patterns
| العنوان: | High resolution, steep profile, resist patterns |
|---|---|
| المؤلفون: | Moran, J. M., Maydan, D. |
| المصدر: | The Bell System Technical Journal Bell Syst. Tech. J. Bell System Technical Journal, The. 58(5):1027-1031 Jun, 1979 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 00058580 |
|---|---|
| DOI: | 10.1002/j.1538-7305.1979.tb03334.x |