دورية أكاديمية
Sidewall Adhesion Evolution in Epitaxial Polysilicon as a Function of Impact Kinetic Energy and Stopper Area
العنوان: | Sidewall Adhesion Evolution in Epitaxial Polysilicon as a Function of Impact Kinetic Energy and Stopper Area |
---|---|
المؤلفون: | Dellea, S., Ardito, R., De Masi, B., Tocchio, A., Rizzini, F., Langfelder, G. |
المصدر: | Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 25(1):134-143 Feb, 2016 |
قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
كن أول من يترك تعليقا!