دورية أكاديمية

Thickness Measurement of Oxide and Carbonaceous Layers on a 28Si Sphere by XPS

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Thickness Measurement of Oxide and Carbonaceous Layers on a 28Si Sphere by XPS
المؤلفون: Zhang, L., Kuramoto, N., Azuma, Y., Kurokawa, A., Fujii, K.
المصدر: IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement IEEE Trans. Instrum. Meas. Instrumentation and Measurement, IEEE Transactions on. 66(6):1297-1303 Jun, 2017
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189456
15579662
DOI:10.1109/TIM.2016.2634678