دورية أكاديمية

Influence of sample placement on the dose uniformity in plasma immersion ion implantation of industrial ball bearings

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Influence of sample placement on the dose uniformity in plasma immersion ion implantation of industrial ball bearings
المؤلفون: Zhaoming Zeng, Xiubo Tian, Dixon Tat-Kun Kwok, Baoyin Tang, Chu, P.K.
المصدر: IEEE Transactions on Plasma Science IEEE Trans. Plasma Sci. Plasma Science, IEEE Transactions on. 27(4):1203-1209 Aug, 1999
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00933813
19399375
DOI:10.1109/27.782301