دورية أكاديمية

Calibrated Nanoscale Dopant Profiling and Capacitance of a High-Voltage Lateral MOS Transistor at 20 GHz Using Scanning Microwave Microscopy

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Calibrated Nanoscale Dopant Profiling and Capacitance of a High-Voltage Lateral MOS Transistor at 20 GHz Using Scanning Microwave Microscopy
المؤلفون: Brinciotti, E., Badino, G., Knaipp, M., Gramse, G., Smoliner, J., Kienberger, F.
المصدر: IEEE Transactions on Nanotechnology IEEE Trans. Nanotechnology Nanotechnology, IEEE Transactions on. 16(2):245-252 Mar, 2017
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:1536125X
19410085
DOI:10.1109/TNANO.2017.2657888