دورية أكاديمية
Doping of trench capacitors by rapid thermal diffusion
| العنوان: | Doping of trench capacitors by rapid thermal diffusion |
|---|---|
| المؤلفون: | Zagozdzon-Wosik, W., Wolfe, J.C., Teng, C.W. |
| المصدر: | IEEE Electron Device Letters IEEE Electron Device Lett. Electron Device Letters, IEEE. 12(6):264-266 Jun, 1991 |
| قاعدة البيانات: | IEEE Xplore Digital Library |
Full Text Finder | تدمد: | 07413106 15580563 |
|---|---|
| DOI: | 10.1109/55.82055 |