دورية أكاديمية

The investigation of key technologies for sub-0.1-/spl mu/m CMOS device fabrication

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: The investigation of key technologies for sub-0.1-/spl mu/m CMOS device fabrication
المؤلفون: Qiuxia Xu, He Qian, Huaxiang Yin, Lin Jia, Honghao Ji, Baoqing Chen, Yajiang Zhu, Min Liu, Zhensheng Han, Huanzhang Hu, Yulin Qiu, Dexin Wu
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 48(7):1412-1420 Jul, 2001
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library