دورية أكاديمية

Two-Dimensional Theoretical Modeling and Experimental Investigations of Micromachined Thermal Expansion-Based Angular Motion Sensor

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Two-Dimensional Theoretical Modeling and Experimental Investigations of Micromachined Thermal Expansion-Based Angular Motion Sensor
المؤلفون: Luo, H., Wang, X., Duan, M., Cabot, J., Lee, Y.
المصدر: Journal of Microelectromechanical Systems J. Microelectromech. Syst. Microelectromechanical Systems, Journal of. 30(1):42-52 Feb, 2021
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:10577157
19410158
DOI:10.1109/JMEMS.2020.3045494