Fabricación de PICs basados en SiN utilizando litografía por escritura directa con láser UV [Not available in English]

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Fabricación de PICs basados en SiN utilizando litografía por escritura directa con láser UV [Not available in English]
المؤلفون: Tosi, Mauricio, Martinez, Jeffry H., Fasciszewski, Alejandro, Bulus Rossini, Laureano A., Costanzo Caso, Pablo A.
المصدر: 2020 IEEE Congreso Bienal de Argentina (ARGENCON) Argentina (ARGENCON), 2020 IEEE Congreso Bienal de. :1-5 Dec, 2020
Relation: 2020 IEEE Congreso Bienal de Argentina (ARGENCON)
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:9781728159577
DOI:10.1109/ARGENCON49523.2020.9505469