دورية أكاديمية

Role of Nitrogen in Ferroelectricity of HfxZr1-xO2-Based Capacitors With Metal-Ferroelectric-Insulator-Metal Structure

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Role of Nitrogen in Ferroelectricity of HfxZr1-xO2-Based Capacitors With Metal-Ferroelectric-Insulator-Metal Structure
المؤلفون: Hsieh, D., Lee, C., Chao, T.
المصدر: IEEE Transactions on Electron Devices IEEE Trans. Electron Devices Electron Devices, IEEE Transactions on. 69(4):2074-2079 Apr, 2022
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
تدمد:00189383
15579646
DOI:10.1109/TED.2022.3153263