High-k MIM dielectric reliability study in 65nm node

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: High-k MIM dielectric reliability study in 65nm node
المؤلفون: Achanta, Ravi, McGahay, V., Boffoli, S., Kothandaraman, C., Gambino, J.
المصدر: 2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Reliability Physics Symposium (IRPS), 2022 IEEE International. :P32-1-P32-4 Mar, 2022
Relation: 2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
قاعدة البيانات: IEEE Xplore Digital Library
الوصف
ردمك:9781665479509
تدمد:19381891
DOI:10.1109/IRPS48227.2022.9764589