دورية أكاديمية
Numerical optimization of an optical showerhead reactor design for organometallic vapor phase epitaxy
العنوان: | Numerical optimization of an optical showerhead reactor design for organometallic vapor phase epitaxy |
---|---|
المؤلفون: | Guo, Y., Pitts, O.J., Jiang, W.Y., Watkins, S.P. |
المصدر: | In Journal of Crystal Growth 2006 297(2):345-351 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00220248 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2006.10.200 |