دورية أكاديمية

Numerical optimization of an optical showerhead reactor design for organometallic vapor phase epitaxy

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Numerical optimization of an optical showerhead reactor design for organometallic vapor phase epitaxy
المؤلفون: Guo, Y., Pitts, O.J., Jiang, W.Y., Watkins, S.P.
المصدر: In Journal of Crystal Growth 2006 297(2):345-351
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00220248
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2006.10.200