دورية أكاديمية

A CFD study of the gas reaction path in growth of InN films in metal–organic chemical vapor deposition

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: A CFD study of the gas reaction path in growth of InN films in metal–organic chemical vapor deposition
المؤلفون: Su, Peng, Zheng, Guangyu, Zhang, Hong, Sun, Yukang, Zuo, Ran, Liu, Lijun
المصدر: In Journal of Crystal Growth 15 January 2024 626
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00220248
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2023.127464