دورية أكاديمية

Enabling MOCVD production on next generation 150 mm Indium Phosphide wafer size

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Enabling MOCVD production on next generation 150 mm Indium Phosphide wafer size
المؤلفون: Miccoli, I., Simkus, G., Larhirb, H., Korst, T., Mukinovic, M., Holzwarth, J., Heuken, M.
المصدر: In Journal of Crystal Growth 1 October 2024 643
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00220248
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2024.127793