دورية أكاديمية

Effect of carbon concentration on optical and structural properties in the transition from Silicon Rich Oxide to SiCxOy films formation

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Effect of carbon concentration on optical and structural properties in the transition from Silicon Rich Oxide to SiCxOy films formation
المؤلفون: Coyopol, A., Vásquez-Agustín, M.A., García-Salgado, G., López-Ramírez, R., Romano-Trujillo, R., Jiménez-Vivanco, M.R., Rosendo, E., Morales, C., Galeazzi, R., Pérez-García, S.A.
المصدر: In Journal of Luminescence June 2022 246
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00222313
DOI:10.1016/j.jlumin.2022.118851