دورية أكاديمية

Charging induced damage by photoconduction through thick inter metal dielectrics

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Charging induced damage by photoconduction through thick inter metal dielectrics
المؤلفون: Ackaert, Jan, Bessemans, Klara, De Backer, Eddy
المصدر: In Microelectronics Reliability 2003 43(9):1525-1529
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00262714
DOI:10.1016/S0026-2714(03)00270-1