دورية أكاديمية

Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements
المؤلفون: Kriso, C., Triozon, F., Delerue, C., Schneider, L., Abbate, F., Nolot, E., Rideau, D., Niquet, Y.-M., Mugny, G., Tavernier, C.
المصدر: In Solid State Electronics March 2017 129:93-96
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00381101
DOI:10.1016/j.sse.2016.12.011