دورية أكاديمية
Surface reaction mechanisms for atomic layer deposition of silicon nitride
| العنوان: | Surface reaction mechanisms for atomic layer deposition of silicon nitride |
|---|---|
| المؤلفون: | Mui, Collin, Widjaja, Yuniarto, Kang, Jeung Ku, Musgrave, Charles B. |
| المصدر: | In Surface Science 2004 557(1):159-170 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 00396028 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.susc.2004.03.029 |