دورية أكاديمية

Low-temperature epitaxy of silicon by electron beam evaporation

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Low-temperature epitaxy of silicon by electron beam evaporation
المؤلفون: Gorka, B., Dogan, P., Sieber, I., Fenske, F., Gall, S.
المصدر: In Thin Solid Films 2007 515(19):7643-7646
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00406090
DOI:10.1016/j.tsf.2006.11.161