دورية أكاديمية
Low-temperature epitaxy of silicon by electron beam evaporation
العنوان: | Low-temperature epitaxy of silicon by electron beam evaporation |
---|---|
المؤلفون: | Gorka, B., Dogan, P., Sieber, I., Fenske, F., Gall, S. |
المصدر: | In Thin Solid Films 2007 515(19):7643-7646 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00406090 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.tsf.2006.11.161 |