دورية أكاديمية
Implantation defects and n-type doping in Ge and Ge rich SiGe
العنوان: | Implantation defects and n-type doping in Ge and Ge rich SiGe |
---|---|
المؤلفون: | Peaker, A.R., Markevich, V.P., Hamilton, B., Hawkins, I.D., Slotte, J., Kuitunen, K., Tuomisto, F., Satta, A., Simoen, E., Abrosimov, N.V. |
المصدر: | In Thin Solid Films 2008 517(1):152-154 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00406090 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.tsf.2008.08.088 |