دورية أكاديمية
The role of the HfO 2–TiN interface in capacitance–voltage nonlinearity of Metal-Insulator-Metal capacitors
العنوان: | The role of the HfO 2–TiN interface in capacitance–voltage nonlinearity of Metal-Insulator-Metal capacitors |
---|---|
المؤلفون: | Wenger, Ch., Lukosius, M., Weidner, G., Müssig, H.-J., Pasko, S., Lohe, Ch. |
المصدر: | In Thin Solid Films 2009 517(23):6334-6336 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00406090 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.tsf.2009.02.074 |