دورية أكاديمية
The effect of helium ion implantation on the relaxation of strained InGaAs thin films
العنوان: | The effect of helium ion implantation on the relaxation of strained InGaAs thin films |
---|---|
المؤلفون: | Paulson, C.A., Jha, S., Song, X., Rathi, M., Babcock, S.E., Mawst, L., Kuech, T.F. |
المصدر: | In Thin Solid Films 2012 520(6):2147-2154 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00406090 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.tsf.2011.09.028 |